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AMO

简要描述：

AMO 是一家非营利性中小企业，其使命是为技术融合带来的创新开辟道路。 特别是解决了微电子和光电子之间的融合问题，以及从中出现的创新潜力的开发。 成功实现这一使命的战略是基于被确定为最有希望的创新来源的关键使能技术 (KET) 的集中度。 这种战略紧密地局限于创新，因为创新是发现、发明和洞察力的交叉点，从而产生了经济价值。

更新时间：2023-06-21

AMO：高性能紫外线纳米压印抗蚀剂

UV纳米压印是一种机械成型技术。由石英或具有3D浮雕的柔性弹性体制成的模板与基板顶部旋涂的UV固化抗蚀剂紧密接触。由于压印抗蚀剂的低粘度，在室温下施加低压印压力会在几秒钟内填充特征。抗蚀剂通过模板背面的紫外光硬化。最后，分离基板和模板。复制的抗蚀剂浮雕可以进一步通过RIE工艺转移到基板中或用作功能元件。

基于在纳米压印领域的广泛长期经验，AMO开发了一种可商用的UV固化抗蚀剂(AMONIL®)和匹配的粘合促进剂(AMOPRIME)。

AMO的NANOIMPRINT RESISTAMONIL®：

AMOGmbH在一系列项目中从事UV-Nanoimprint光刻技术的研究和开发超过15年。基于这些丰富的经验，我们能够设计AMO并定期对其进行改进。该抗蚀剂将出色的涂层和压印性能与出色的图案保真度和合理的等离子体稳定性相结合。

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